超純水系統的3個(gè)部分

 

　　隨著(zhù)電子工業(yè)的發(fā)展，在芯片的生產(chǎn)加工過(guò)程中，對于水質(zhì)的要求也越來(lái)越高。為了保證生產(chǎn)出超大規模的集成電路，除高純原材料、高純氣體、高純化學(xué)藥品外，高純水也是其中關(guān)鍵的因素之一。高純水系統是將一般的市政用水處理成對不同離子的含量和顆粒度都有很高要求的超純水。

 

　　超純水系統總體來(lái)說(shuō)一般可分為三個(gè)部分：超純水制造區（CUB部分）；超純水拋光循環(huán)區（FAB部分）；超純水輸送管網(wǎng)（FAB各使用區）。在超純水系統中管材的選用也非常重要,既要能做到保證水質(zhì)、又應該做到經(jīng)濟合理。超純水系統中常用管材主要包括:PVC、SGP、SGP(RL)、SUS304、CPVC、SUS316及PVDF等管材。一般在超純水制造區預處理階段多采用PVC管或SUS304管。

 

　　其中超純水制造區為復雜其又可分為：預處理、一次純水處理、超純水處理三個(gè)部分。預處理部分主要包括：沙濾、活性炭塔（有的廠(chǎng)商在沙濾前還增設反應槽、氣浮池）；一次純水部分主要包括：陰陽(yáng)離子交換塔、脫氣塔（DG）、保安過(guò)濾器、紫外線(xiàn)殺菌器及多級反滲透；

 

　　超純水部分主要包括：MDG（脫氧膜組）、TOC-UV殺菌器、混床（MB）及終端過(guò)濾器。但是由于考慮到在向工藝線(xiàn)設備輸送高純水過(guò)程中，輸水管道會(huì )對水質(zhì)再次造成污染，因而在FAB內一般都設立拋光循環(huán)系統。拋光循環(huán)系統主要以MB為核心，再加上超濾設備（UF），以除去在向工藝生產(chǎn)線(xiàn)輸送純水的過(guò)程中，管網(wǎng)溶入水中的雜質(zhì)。